微导纳米公司自制高效电池产品斩获国内亿元订单

近日，江苏微导纳米科技股份有限公司斩获国内行业一家企业量产高效电池的亿元订单，凭借强大的技术支撑赢得了客户青睐。    微导纳米成立于2015年，公司以原子层沉积（ALD）技术为核心，专注于先进薄膜沉积装备的开发、设计、生产和服务，业务涉及集成电路、光伏、LED、MEMS等半导体相关领域，以及新能源和柔性电子领域。主要产品为应用于逻辑、存储、3D-IC、化合物等先进制程的半导体ALD设备和技术，应用于柔性电子和新一代高效太阳能电池的薄膜设备及量产解决方案。

目前主流的晶体硅太阳能电池光电转换的理论极限约为29.43%，叠层电池技术是国际公认的高效光伏电池技术，而实现该项工艺关键的装备之一便是镀膜装备。受制于技术垄断，中国光伏产业很长一段时间都依赖于从欧美等发达国家大量进口镀膜设备。为推动我国ALD技术产业化，微导纳米攻坚克难，历时近两年磨砺，最终实现了ALD技术在叠层电池方向的量产应用，推动国产核心ALD设备反向走出国门。如今，旗下产品几经迭代，工艺日臻纯熟，已跻身于全球高效电池生产核心设备之一，在同类型产品中市场占有率稳居全球第一梯队。

微导纳米在集成电路领域的应用同样表现不俗。首台应用于先进节点的ALD装备已通过国内半导体集成电路制造领域龙头企业验收，设备性能和关键技术指标均已达到国际同类设备先进水平。